Techniken und Ausstattung
Techniken und Ausstattung
| Ausrüstung | Spezifikation und Anwendung |
| MTS XP (KLA Tencor) Nanoindenter | Für nano- und mikromechanische Prüfungen bei Raumtemperatur. Verfügbare Optionen: CSM, DCM und High-Load-Head Max. Belastung = 10N. |
| Hysitron/Bruker TI980 Nanoindenter | Für nano- und mikromechanische Prüfungen bei Raumtemperatur/erhöhter Temperatur (bis zu 600°C), Verfügbare Optionen: NanoDMA, MultiRange nanoProbe, xProbe, SPM-Bildgebung, XPM, Schallemission. Max. Belastung = 3N. |
| Deben Mikrotest | Für mikromechanische Ex-situ- und In-situ-SEM Prüfungen bei Raumtemperatur. Verfügbare Optionen: Druck und Zug, 4-Punkt-Biegung, EBSD, Max. Belastung = 200N. |
| ThermoFischer Nanolab 200 Zweistrahlmikroskop (SEM/FIB) | Für die mirkostrukturelle Charakterisierung und Fräsen mit Ga. Verfügbare Detektoren/Methoden: EBSD, EDS, TLD, Omniprobe, Nanomechanics Inc. In-situ-Nanoindenter. |
| ThermoFischer Helios G4 UXe PFIB Zweistrahlenmikroskop (SEM/FIB) | Für die mikrostrukturelle Charakterisierung und das Fräsen mit Plasma. Verfügbare Detektoren/Methoden: EBSD, EDS, TLD, STEM, BS |
| Bruker PI95 TEM picoindenter | Für in-situ mechanische Test im TEM |
| KLA NanoFlip | Für in-situ mechanische Test im SEM |
Zusätzlich gibt es auch direkten Zugang zu einem Talos F200i mit EFTEM/EELS-, EDX- und STEM-Detektoren und dem Hysitron/Bruker in situ Nanoindenter TI980. Weitere Instrumente sind SAXS/WAXS und Zeiss Ultra Nanotomography.